Keithley 4200A-SCS 參數分析儀
4200A-SCS 是一個模塊化、可定製、高度一體化的參數分析儀，可同時進行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈衝 I-V 電學測試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開關模塊，可輕鬆地在 I-V 和 C-V 測量之間切換，而無需重新布線或抬起探針。4200A-SCS 是*高性能的分析儀，可加快用於材料研究、半導體器件設計、工藝開發或生產的複雜器件的測試。
功能和特點
特點 |
優勢 |
| 將源測量單元、C-V 單元和超快脈衝 I-V 單元無縫結合的一體化係統 | 快速、清晰和準確地執行 I-V 特性分析、交流阻抗測量、波形捕獲和瞬態 I-V 測量 |
| Clarius™ 基於 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標控製 | **測試定義、參數分析、圖形繪製和自動化功能，實現清晰、**的測量和分析 |
| 內置上下文相關的測量視頻和 450 多種應用測試 | 快速啟動測試及提供測量幫助和故障排除向導 |
| I-V 源測量單元 (SMU) | ±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測量分辨率 |
| C-V 多頻率電容單元 (CVU) | 交流阻抗測量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率範圍 |
| I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV) | 在 I-V 和 C-V 測量之間輕鬆切換或將 C-V 測量移至任何終端，而無需重新布線或抬起探針 |
| 脈衝式 I-V 超快脈衝測量單元 (PMU) | 兩個獨立或同步的高速脈衝式 I-V 源和測量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴大到幾十皮安 |
| 高電壓脈衝發生器單元 (PGU) | 兩通道高速脈衝電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA |
| 可完全定製和升級 | 現在或以後均可根據需要隨時添加模塊 |
模塊
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產品技術資料 |
模塊 |
說明 |
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4200-BTI-A |
ULTRA FAST BTI PKG |
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4200-PA |
REMOTEPREAMPLIFIER MODULE |
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4200-SMU |
MEDIUM POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4200A-CVIV |
MULTI SWITCH |
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4210-CVU |
CAPACITANCE-VOLTAGE UNIT |
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4210-SMU |
HIGH POWER SOURCE-MEASURE UNIT |
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4220-PGU |
雙通道脈衝發生器 |
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4225-PMU |
ULTRA-FAST PULSE MEASURE UNIT |
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4225-RPM |
REMOTE PREAMPLIFIER/SWITCH MODULE |
預配置係統
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配置
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技術數據
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4200A-SCS-PK1
高分辨率 IV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率用於兩端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析
4200A-SCS-PK1 套件包括：
4200A-SCS 參數分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 8101-PIV 測試夾具盒，帶標準樣品
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4200A-SCS-PK2
高分辨率 IV 和 CV 套件
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210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用於表征高 κ 電介質、深度亞微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK2 套件包括：
4200A-SCS 參數分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 電容-電壓模塊
(1) 8101-PIV 測試夾具盒，帶標準樣品
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4200A-SCS-PK3
高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件
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210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用於表征功率器件、高 κ 電介質、深度亞微米 CMOS 器件
4200A-SCS-PK3 套件包括：
4200A-SCS 參數分析儀
(2) 4200-SMU 模塊
(2) 4210-SMU 模塊
(1) 4200-PA 前放
(1) 4210-CVU 電容-電壓模塊
(1) 8101-PIV 測試夾具盒，帶標準樣品
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4200-BTI-A
超快 NBTI/PBTI 套件
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用於使用**矽 CMOS 技術進行的複雜 NBTI 和 PBTI 測量
4200-BTI-A 套件包括：
(1) 4225-PMU 超快 I-V 模塊
(2) 4225-RPM 遠程前置放大器/開關模塊
自動化檢定套件 (ACS) 軟件
超快 BTI 測試項目模塊
電纜
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下載產品技術資料
