直觀的、點擊式Windows操作環境
獨特的遠端前置放大器,將SMU的分辨率擴展至 0.1fA
用於**半導體測試的新型脈衝與脈衝式I-V功能
集成了示波與脈衝測量功能的新型示波卡
內置PC提供快速的測試設置、強大的數據分析、製圖與打印、以及測試結果的大容量存儲
獨特的瀏覽器風格的軟件界麵,根據器件的類型來安排測試,可以執行多項測試並提供測試序列與循環控製功能
內置了Stress/Measure,循環和數據分析功能,通過鼠標點擊方式就可進行可靠性測試,包括5個JEDEC規範的樣品測試
支持 Keithley590 型與 Agilent 4284/4294型C-V儀、Keithley開關矩陣與Agilent 81110脈衝發生器等多種外圍設備
硬件由 Keithley交互式測試環境(KITE)來控製,用戶測試模塊功能,可用於外接儀表控製與測試平台集成,是KITE功能的擴充
包括驅動軟件,支持CascadeMicrotech Summit 12K係列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自動和手動探針台
支持先進的半導體模型參數提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
可靠性測試 — 工藝監測 — 質保測試
4200-SCS半導體特性分析係統
■ 進行極低頻C-V測量
■ 與同類競爭係統相比能並行測試更多器件
■ 多達12個帶脈衝功能的同步超快I-V通道
4200-SCS半導體特性分析係統:
■ 直流I-V、C-V、脈衝和瞬態特性分析
■ 實時繪圖和分析
■ 超過400種樣品器件測試庫
硬件
4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級的架構。這使得它能
夠準確滿足當前的測量需求,並通過擴展滿足後期的需求。它的9個
儀器插槽可以混合配置4種核心測量模塊。
● 多達9個精密直流源-測量單元能夠提供和測量0.1fA到1A的
電壓,或者1μV到210V的電壓。
● 利用4210-CVU(C-V模塊)可以方便的在1kHz到10MHz測
試頻率下進行交流阻抗測試。可以測量的電容範圍從aF級到μF級。
● 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進行脈衝和瞬態測量。該
模塊具有兩個獨立的電壓源,能夠以1V/ns的步幅調整電壓,輸出同
時測量電壓和電流。當安裝了多個模塊時,它們內部同步的精度小於
3ns。
● 選擇兩種不同的數字示波器模塊能夠方便而高效地生成數字
波形
軟件
吉時利交互式測試環境(KITE)提供了一套完整的圖形用戶界
麵,無需編程即可支持幾乎所有類型的特性分析測試。它提供了400
多種標準的特性分析測試,包括MOSFET、BJT晶體管、二極管、電
阻器、電容器、太陽能電池、碳納米管和NVM存儲器,例如Flash、
RRAM、PCRAM等等。